上午九点多，韩路一从起源集团总部大楼出来，步行到了冰芯厂区。
上次见过一面的工艺负责人丁耀先，带着两个人等在厂区门口。
见韩路一独自走来，没坐车，秘书、助理也没跟，丁耀先脸上先闪过一丝诧异，随即又浮出几分无奈。
产线问题正焦头烂额，加班加点都解决不了，这位合作伙伴的大老板偏偏挑这个时候来看产线。
这算什么，高规格商业旅游吗？
丁耀先只觉得麻烦。
怪不得廖总出差去了，让我来接待。
等韩路一走近，丁耀先已整理好表情，招呼道：“韩总，早啊。”
“丁工早，好久不见。廖总不在啊？”韩路一问道。
“廖总出去谈技术支持的事了，让我来接待您一下。”
韩路一了然：产线上的问题对冰芯确实是重中之重，内部解决不了，廖伯韬这是想请外援。
至于韩路一，他可没指望靠韩路一来解决问题。
丁耀先带韩路一先去办公区签了厚厚一叠补充保密协议，又让他把手机、手表等各种电子设备放进屏蔽柜，几人穿过两层门禁，走进生产线区域前的更衣室。
每个人都要在这里换上连体无尘服和无尘帽，看着像简易版宇航服。
旁边的丁耀先瞥见韩路一嘴唇上的一点血痂，不由得多看了一眼。
韩路一尴尬地笑笑：“最近天气干燥，有点儿上火。”说完戴上口罩，遮住了脸。
丁耀先说了句：“韩总，那您得多喝水啊。”心里却想：最近天气干燥吗？不是挺潮的么，厂房里还得额外防潮。
一段小插曲过去，几人一起走进整个晶圆厂最核心的区域——
光刻黄光区。
为防止空气中的自然光线让原料光刻胶提前曝光，整个厂区全天二十四小时笼罩在特制的黄色人工光线之下。黄色光波长长，携带能量小，不会让光刻胶曝光。
几人一直走到一台巨大的工业设备前才停下。
丁耀先开口道：“韩总您看，这就是我们产线的核心设备，阿斯麦生产的TWINSCAN NXT系列浸没式DUV光刻机。”
韩路一认真地点了点头。
其实他哪懂这个。
对光刻技术，他完全是个门外汉。
可今天来，他却要解决冰芯的产线问题。
“丁工，具体是什么问题？”韩路一出声问道。
丁耀先指了指面前的几台设备：“症状就是套刻误差大，但没有任何规律。这几台设备都出过问题，又不是每次都会出现。有时连着十几个批次都没事，突然冷不丁来一下，一批晶圆片就全废了，太头疼了。”
他倒宁愿问题出一台固定机器上，哪怕几率再高点儿。
这种随机出现在各条产线上的问题，才最影响生产管理。
“套刻误差是什么？”韩路一接着问。
丁耀先看了韩路一一眼。
不是，你连套刻误差都不知道？是来干什么的？
但他知道这位韩总本职做软件出身，还是耐心解释：“上次咱们讲过，冰芯的七纳米制程是通过多重曝光技术实现的。一次曝光之后要重新对齐，用新图案再曝光一次，这就是套刻。套刻之间的误差要控制在纳米级，不然出来的图案就废了。”
听到这儿，韩路一知道问题棘手在哪了。
拼接本身是个问题，更严重的是随机出现。
如果每次曝光都出问题，那说明拼接算法不对，要打回去重做；可如果是随机出现，就说明拼接算法没问题，那问题从哪儿来？
韩路一开着视界扫了一圈。
整个厂房各个物品的标签都弹了出来。
先是眼前的巨兽：
【设备：ASML TWINSCAN NXT系列浸没式DUV光刻机】
【状态：健康】
【驱动软件：ASML原生驱动】
旁边的生产线：
【设备：前道全自动涂胶显影机】
【状态：健康】
【驱动软件：原厂驱动】
看起来都没什么问题。
旁边的丁耀先又补了几句：“韩总，您是不知道，能查的地方我们都查了：镜片的温差畸变、原料光刻胶的批次活性，甚至连旁边有车辆路过时厂房的微震动都检测了，全都没有相关性。”
说完他叹了口气：“出现这种状况，要是以前早就请原厂工程师来了；可现在售后全断了，他们的工程师过不来不说，连远程诊断也做不到。”
听起来就像个密室杀人事件。
如果硬件都没问题，那就是软件了？
售后断了，现在用的是什么软件？
韩路一把心里的疑问问了出来。
“是我们自研的管理系统，但已经用了快两年，肯定不是这儿的问题。”丁耀先一听就明白韩路一的意思，也有点儿不以为然。
工业生产可不是互联网产品，能用的东西都不会轻易变动。
当初为了多重曝光技术，他们研究了这个操作系统，之后为了稳定性就没动过。一个两年没动过的东西，怎么会突然出问题？
韩路一又看了一会儿，突然出声：“丁工，你们的监控室在哪儿？能去看看吗？”
丁耀先已看出韩路一没什么头绪，心里也不抱什么希望。
厂里几十个半导体工程师研究了半个月都没看出门道，还能让一个外行把问题解决了？
他现在只想韩路一早点看完走人，他们好继续排查。
还好，监控室的密级并不比生产区更高。
几人一起走进中央监控室，里面有几个值班工程师，每个人都显得压力重重。进门后，韩路一指着旁边的大屏幕问：“管理系统的运行日志能看到吗？”
他没问光刻机的日志，那个是设备加密的，连冰芯也看不到。
丁耀先让一个值班工程师把最近两周的工作日志调出来，然后对韩路一说：“韩总，我们这个系统也是核心工艺的一部分，您不能外泄啊。”
“丁工放心。”
韩路一一边说，一边打开视界。
眼前的日志马上被视界染上不同颜色。
韩路一静静地翻着日志记录。
日志量极为庞大，生产管理系统所管理的各条产线光刻机在生产流程中产生的所有日志都汇聚在一起，绝大部分标着【INFO】级别，记录一些操作信息，只有极少数出现【WARN】和【ERROR】。
丁耀先解释道：“这里我们也第一时间排查了，系统看没有对应的错误信息，肯定不是这儿的问题。”
他见韩路一没说话，仿佛已进入非常专注的状态，为了不打扰，干脆闭嘴，也没给其他人介绍韩路一的身份。
几个值班工程师看是丁耀先亲自带进来的人，一进来就看日志，也不知道发生了什么，只分出些余光偷偷关注。
就这么看了几分钟，韩路一突然开口：“上次出问题是今天凌晨？”
他已经翻回视界标出问题的第一条日志，记录上有一个时间戳为【02:07:33.129】的日志被视界标红了。
丁耀先听后猛然一惊，问道：“你怎么知道？”
他急得连敬称都忘了用。
韩路一用手指着屏幕上那行日志：“你看，这里出错了。”
周围几个工程师早围了过来。
此时屏幕上上上下下密密麻麻的日志都是【INFO】级别，没有任何错误标出。
这个人怎么就笃定这儿出错了？
过去两周，这工作日志他们不知查了多少次，也没看出什么问题。
旁边一个负责维护自研系统的工程师不知道韩路一的身份，但听他这话，忍不住出声：“你怎么说话呢？这行日志不是很正常吗？状态码200，光刻机也正常接收了，没有任何报错信息。”
听这工程师语气不太好，丁耀先正要喝止，韩路一倒没在意，直接说道：“通信是成功了，但数值有偏差。”
说完他又补了一句：“不好意思，我操作一下。”然后用鼠标键盘把那行日志复制下来，放到旁边一个新建文档里，又向上滚动，找到另外几条日志，把里面的内容复制下来，依次粘贴进文档。
“这条日志记录的是对齐补偿参数吧，1.341289，后面的单位是纳米？”韩路一边看边问。
刚才反驳他的工程师见他这么快就手动抓取了几条日志，感觉思路有点跟不上，正专心读日志内容，没说话。倒是丁耀先答道：“对，这是我们系统计算出的数值。下面那一行是光刻机给的回执，1.3413纳米。因为光刻机精度没到0.1皮米这个级别，后面的数值就约掉了。韩总，您对——”
刚解释完，就听见刚才说话的那个年轻工程师突然叫道：“不对啊，怎么会是1.2呢？”
丁耀先话说到一半被打断，转头看过去，只见那工程师直勾勾地盯着屏幕上的日志。丁耀先也顺着他的目光看向屏幕。
刚才他和韩路一讨论的是之前一段正常时间的输入值和返回值。
而韩路一第一次复制出来的，那个凌晨两点，恰好是错误批次的输入值和返回值，分别是1.299998和1.2000。丁耀先马上也意识到问题了。
差了将近零点一纳米！
对使用多重曝光技术来实现七纳米的工艺来说，0.1纳米的误差再经过几次叠加放大，这么大的偏差足够直接导致晶圆片上的电路报废。
这是怎么回事？
意识到发生了什么的丁耀先赶紧对屋里其他几个人大声说：“快！快把之前事故记录的时间找出来，找到对应日志，看看是不是都这种情况！”
单看今天凌晨这一次，这个日志已足以证明问题会导致晶圆片报废，但他们还要验证之前几次是不是同样原因。
监控室里的人迅速行动起来，调出事故记录，找到对应时间，翻找对应日志。
几个人分在几台电脑上操作，几分钟后，第一个人有了结果。
“丁工，定位了，昨天晚上的那次失败也有同样的精度问题，0.999997被约成了0.9000！”
随后其他几个人也都有了发现。
“我这里也找到一个，2.199999的返回值是2.1000！”
“我这里也是！”
很快他们就找到七八条在失败批次时间出现的记录，都是同样的精度丢失问题。
这下基本可以确定问题出在哪儿了。
如果说一次是巧合，总不可能七八次都是巧合。
接下来就是怎么修的问题。
既然问题规律已经找出来，总有办法解决：现在的补偿值是管理系统通过光学测量仪器读取后直接送到光刻机的，光刻机取近似出了问题，那就不让光刻机来做这个工作，把补偿值在管理系统里做好再给光刻机，总不能再出类似问题了吧？
软件团队负责人不在场，丁耀先先问了一句：“如果把取近似的功能提前到我们系统里，你们觉得多快可以做完？”
几个软件工程师面面相觑，都不敢答复。
这管理系统已经两年没动过，之前都在维护，现在急着修，再修出更大问题怎么办？
更何况他们也做不了这个决定。
现场陷入一阵尴尬的沉默。
丁耀先心里又喜又急又气，说道：“算了，我先汇报给廖总。”
韩路一突然插了一句：“如果不能马上修这个问题，不如先加个阻断逻辑，检测到这个格式的数据就先不要进行曝光。”
这是互联网线上事故的处理流程。
先止血，再修复，再找根本原因。
其实生产上也是这个流程，只是丁耀先一时情绪激动，还没想到。
他看了韩路一一眼，说道：“韩总，谢谢您了！”
说完到旁边拿起了一个固定电话。